少子壽命測試儀是款硅片少子壽命測試儀，不僅適用于硅片少子壽命的測量，更適用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶等多種不規(guī)則形狀硅少子壽命的測量。
 

　　使用前的檢查：
 

　　開機1、檢測所有電源連接無誤后，按Power鍵依次打開DOS系統(上面)和Window系統(下面)的控機。
 

　　2、預熱(10分鐘以上)
 

　　3、檢測前準備(1)雙擊wintau32圖標入軟件;;(2)每次開機后Measure/Initialize行初始化。
 

　　使用步驟：
 

　　(1)接上電源線以及用頻連接線將CZ與示波器Y輸入端接通，開啟示波器。
 

　　(2)將清潔處理后的樣品置于電上面，為提靈敏度，請在電上涂抹點自來水(注意：涂水不可過多，以免水入光照孔)注意：涂水不可過多，以免水入光照孔。
 

　　(3)開啟總電源KD，預熱15分鐘，按下K接通脈沖電路電源，旋轉KW，適當調電壓。關機時，要把開關K按起關機時，按起。
 

　　(4)調整示波器電平及釋抑時間，內同步，Y軸衰減X軸掃描速度及曲線的上下左右位置，使儀器輸出的數衰減光電導信號波形穩(wěn)定下來。
 

　　少子壽命測試儀少子測量程從1μs到6000μs，硅料電阻率下限達0.1Ω.cm(可擴展至0.01Ω.cm)。測試過程程動態(tài)曲線監(jiān)控，少子壽命測量可靈敏地反映單晶體重金屬污染及陷阱效應表面復合效應等缺陷情況，是原生多晶硅料及半導體及太陽能拉晶企業(yè)少子壽命測量儀器。